【48812】超大口径非球面反射镜CGH检测精度校验办法

更新时间：2024-08-31  作者: 振动时效去应力

  研讨团队，提出了一种根据等效曲面的CGH检测精度校验办法，选用小口径高精度概括仪完成了超大口径非球面反射镜CGH补偿元件标定，精度优于 /150（=632.8 nm）。

  核算全息图（Computer-generated hologram，CGH）经过将干与仪发生的规范球面波转换为与被检元件光学规划相一致的非球面或自在曲面波前（图1），完成高精度面形检测，是现在超大口径非球面反射镜纳米精度检测的首要手法。因为缺少精度适当的多办法验证，怎么标定超大口径非球面反射镜CGH补偿元件成为长时间困扰该范畴的难点问题之一。

  为打破口径约束，研讨团队提出一种根据等效元件的CGH丈量精度校验办法。经过模仿非球面波前传达进程，规划小口径等效元件（口径约减小一个数量级），使其在自准直丈量光路中与超大口径非球面反射镜彻底等效，从而选用小口径高精度概括检测等效元件传递的非球面波前基准，处理超大口径非球面反射镜CGH补偿元件的精度校验难题。

  为验证上述CGH精度校验办法的有用性，研讨团队规划并制作了3.5 m口径非球面反射镜的等效曲面元件，有用口径为281 mm。选用CGH干与补偿法和高精度概括检测法，别离检测等效曲面元件的面形精度，成果均优于RMS 10 nm（图2）。选用低阶面形差错Zernike剖析和空间频域剖析法，比照二者检测成果，验证了成果的一致性（图3）。根据正交假定的实践面形差错估量标明，300 mm口径CGH补偿元件的标定精度到达4 nm，精度标准比到达1.1 ppb.（来历：先进制作微信大众号）

  图2：(a)CGH检测成果; (b)概括仪检测成果; (c)二者点差分布图